設備製程解決方案

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設備製程解決方案

設備製程解決方案

Tools Solutions

在半導體產業中，設備機台（Tools）扮演著關鍵角色，為最直接接觸元件與產品的生產環節，對最終產品良率具有決定性影響。除了設備本身的技術與性能要求外，設備內部環境的潔淨控制亦不可忽視。隨著製程線寬持續微縮至奈米級，氣態分子污染物（Airborne Molecular Contamination, AMC）對製程的潛在威脅日益加劇。微量污染源一旦進入設備關鍵區域，將可能導致元件性能劣化、缺陷生成，甚至影響製程穩定性與成品良率。

為此，鈺祥企業針對半導體設備製程需求，設計出一系列高效能化學濾網，可廣泛應用於各類先進設備機台，提供靈活且高適應性的AMC微污染控制解決方案。

Tools 主要特點

多樣化產品設計：依據不同製程條件及設備結構，量身開發各式專用濾網，靈活支援客製化需求。
高效污染物去除：有效過濾酸性、鹼性、有機等多類型分子污染物，確保製程環境潔淨穩定。
製程良率保障：協助設備運作環境達到最高潔淨標準，降低微污染導致的不良率風險。

此外，鈺祥與全球半導體設備製造商密切合作，提前佈局未來世代設備過濾技術。透過技術共創與前瞻開發，鈺祥率先掌握設備過濾關鍵技術趨勢，積極搶占次世代製程設備AMC控制市場，並滿足先進製程對極致潔淨環境的嚴苛要求。

平板化學濾網

堆疊式化學濾網

再生型化學濾網

相關產品

平板化學濾網Panel Type Filter

100%綠電

在地生產

客製化

尺寸設計彈性高，靈活應用各類場域
提供多種規格尺寸，可即時供應生產需求
高效過濾與使用壽命長
廣泛應用於FFU及各類機台設備領域

安裝位置

FFU / Tools

可去除氣體

TS, DMS, Acid, Base, TVOC, CXF, IPA, Acetone

框體材質

不銹鋼框 / 鍍鋅鋼框 / 鋁框 / ABS框

產品詢價

堆疊式化學濾網Stacked Type Filter

100%綠電

在地生產

客製化

濾網再生

本產品為原多功能一體式濾網的升級優化版本
可依不同目標氣體污染物，靈活更換對應的濾材組合
可依據實際過濾環境，彈性調整各項AMC氣體的濃度控制策略

安裝位置

FFU / Tools

可去除氣體

TS, DMS, Acid, Base, TVOC, CXF, IPA, Acetone

框體材質

不銹鋼框 / 鍍鋅鋼框 / 鋁框 / ABS框

產品詢價

再生型化學濾網Regenerative Filter

100%綠電

在地生產

客製化

濾網再生

採用獨家物理再生技術，TVOC濾網可重複再生>10次
高再生效能 (>99%)，延長產品使用壽命
大幅減少廢棄物及碳排放，降低處理成本
支援循環使用，協助客戶淨零減碳與永續發展目標

安裝位置

FFU / Tools

可去除氣體

IPA, Acetone, TVOC

框體材質

鋁框

產品詢價