エアハンドリングユニットソリューション

AMC ソリューション
エアハンドリングユニットソリューション

補給空気ユニットエリアソリューション

Make-up Air Unit (MAU) Solutions

エアハンドリングユニットはクリーンルーム循環システムにおいて、外気の初歩的な処理を担う中核設備です。MAUは室内の空気品質の決定に直接関与し、工場の環境条件、生産効率、製品品質に影響を及ぼします。そのため、クリーンルーム運用の安定性を確保するための第一線と言えます。

MAUの主な機能は以下の通りです

粒子状物質フィルター
分子状汚染物質フィルター
室内の陽圧による差圧の維持
温度及び相対湿度の管理

MAU動作原理

外気の絶対湿度がクリーンルームの目標湿度よりも高い時、システムは予冷コイルを利用して外気の露点を下げます。その後、気流を予熱コイルで適切な温度まで加熱し、クリーンルームに送られる空気が設備の顕熱気流と混合することで、クリーンルームの温室度に対する厳格な要求を安定して維持することができます。そして、出口側に設置された高効率フィルターにより、99.7%以上の粒子捕集効率を実現します。また、各種AMCを効率的に除去することで、クリーンルームにおける高清浄度基準を満たすことができます。

MAUは大量の外気を処理するため、システムによるエネルギー消費はクリーンルーム循環の中でも最大となります。そのため、エネルギー消費効率の向上が重要になります。

鈺祥企業MAU専門ソリューション

鈺祥企業はMAUの動作特性において、高効率ろ過と省エネルギー・炭素排出削減を兼ねたソリューションを提供します。主な特色は以下の通りです。

多岐にわたるフィルター選択肢：従来のVバング型やボックス型ケミカルフィルターをオプションとして提供し、各種MAU設計規格に柔軟に対応します。
特許取得のカートリッジ式ろ過システム：鈺祥が独自に開発したカートリッジ式ろ過システムは、より高いろ過効率とより低い圧力損失を兼ね合わせているため、動作時のエネルギー消費を効果的に抑えるとともに、汚染物質の除去能力が強化されます。
国際認証取得の省エネルギーろ過材：鈺祥のカートリッジ式ケミカルフィルターは、ISO 14067:2018カーボンフットプリント認証及びBS 8001:2017循環経済標準認証を獲得しました。使い捨てフィルターと比較すると、炭素排出量を効果的に約25%削減することができるため、顧客による省エネルギー・炭素排出削減目標の実現に貢献します。

鈺祥企業のMAUソリューションにより、顧客は最適なAMC分子状汚染物質対策、クリーンルームの動作安定性の向上、持続可能な開発目標（ESG）を同時に達成させることができます。競争が熾烈な半導体及びハイテクノロジー産業において、より堅実に競争優位性を獲得することができます。