
外气空调箱解决方案
Make-up Air Unit (MAU) Solutions
外气空调箱是无尘室循环系统中负责外气初步处理的核心设备。MAU直接决定室内空气质量,对厂房环境条件、生产效率及产品质量具有关键影响力,是保障无尘室运作稳定性的第一道防线。
MAU 主要功能
- 悬浮微粒过滤
- 气态分子污染物过滤
- 维持室内正压力差
- 控制温度与相对湿度
MAU 工作原理
当外气绝对湿度高于无尘室目标湿度时,系统先利用预冷盘管降低外气露点,随后通过预热盘管将气流加热至适宜温度,确保送入无尘室的空气能在与设备显热气流混合后,持续满足无尘室对温湿度的严格要求。最后,经出口端配置的高效率过滤器,实现99.7%以上的粒子过滤效率,并有效去除各类AMC,达到无尘室超高洁净度标准。
MAU 主要特点
钰祥企业针对MAU运作特性提供兼顾高效过滤与节能减碳的专业解决方案,主要特点包括:
- 多样化过滤器选择:提供传统V型单凸式与箱型化学过滤器选项,灵活适配各式MAU设计规格。
- 专利筒式过滤系统:钰祥自主开发的筒式过滤系统,具备更高过滤效率与更低压损表现,有效降低运行能耗,同时强化污染物去除能力。
- 国际认证节能滤材:钰祥化学滤筒通过ISO 14067:2018碳足迹认证及BS 8001:2017循环经济标准认证,与一次性滤材相比,可有效减少约25%的碳排放量,帮助客户实现节能减碳目标。
通过钰祥企业的MAU解决方案,客户可同时达成最佳AMC微污染控制、无尘室运作稳定性提升及可持续发展目标(ESG),在竞争激烈的半导体与高科技产业中,取得强大的运营优势。

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化学滤筒

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安装位置
FFU / Tools
可去除气体
TS, DMS, Acid, Base, TVOC, CXF, IPA, Acetone
框体材质
不锈钢框 / 镀锌钢框 / 铝框 / ABS框