/工商时报谢易晏
2022/10/18
 
ESG要怎么发展,站在制造业的角度上,就是要突破原本的思维,从材料科学源头出发,才能创造最有效的减碳效果。』
近年芯片供需战的火热化,也让台湾半导体产业的发展更受人瞩目,但ESG净零碳排意识逐渐抬头,如何在有限的能源使用前提下,迈向二奈米或更高精密的产业发展,已经成为高精密产业的急迫议题。
 
拆解台湾半导体产业的运作环节,除了制程原物料采购及生产制程外,提供整个制程所需环境的高科技厂房设施,以往是容易被忽略的部分,在ESG净零碳排议题兴起后,开始有越来越多人注意到高科技厂房设施,实质是影响直接碳排重要的隐形环节。
 
在半导体制程的制程过程中,逸散到环境中的AMC(气体微污染物),对于晶圆制造良率产生绝对影响,需要依靠厂房设施进气单源MAU与风扇机组FFU,以及无尘室中的安装的专业化学滤网,进行相对应的吸附过滤,减少粒子状的污染物沈积在晶圆表面的机率,才能减少不良品的产生,提升产品关键良率,同时也避免了制程时间的增加,以及后续造成的能源消耗及废弃物间接碳排。
 
工商时报带您前进两岸三地最大化学滤网制造商钰祥企业台南工厂,钰祥企业总经理庄士杰指出,在AMC分类中的E类污染源物质异丙醇与丙酮,是实务经验中晶圆代工客户在良率上目前遇到最大的瓶颈,特别是当关键线宽的尺寸进展到低于0.25微米时,单纯的无尘空间已经不能满足晶圆制造对于洁净度的需求。
 
今年度钰祥透过独家材料研发成功,在实验研究数据的呈现以及产线实际应用上,产品使用寿命及过滤效能都达到两倍的突破成果,而新型滤网在效能加倍的前提下却可重复利用5次,滤筒则达到95%以上的循环再利用。
 
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