在半導體產業中,設備機台扮演著重要的角色,是最直接接觸到元件與產品的一部分,因此也與產品的良率息息相關。對半導體生產設備來說,除了使用的技術與設備本身的品質相當重要之外,設備內部的環境也是不可疏忽的環節。隨著製程線寬不斷的縮小,氣態分子污染物(AMC)的危害就日益增加,為了解決AMC控制問題,鈺祥設計了一系列的化學濾網,能夠適用在各式機台上,為AMC控制解決方案帶來最大的彈性。

鈺祥更與半導體設備製造商密切合作,搶先掌握設備過濾的關鍵技術,以在次世代的設備過濾技術中搶占先機,並滿足最先進製程的需求。若想了解更多關於鈺祥設備製程區解決方案的應用,歡迎隨時與我們聯絡。

照片

產品名稱

產品介紹

6V Single header

  1. Installation Location 安裝位置:MAU、RCU、Dry coil

  2. Challenge Gases 可去除氣體:MA、MB、MC

  3. Product Specification 規格:可依照客戶需求客製化

4V Single header

  1. Installation Location 安裝位置:MAU、RCU、Dry coil

  2. Challenge Gases 可去除氣體:MA、MB、MC

  3. Product Specification 規格:可依照客戶需求客製化

平板型
Panel

  1. Installation Location 安裝位置:FFU

  2. Challenge Gases 可去除氣體:MA、MB、MC

  3. Product Specification 規格:可依照客戶需求客製化

3 in 1
氣密式堆疊

  1. Installation Location 安裝位置:FFU

  2. Challenge Gases 可去除氣體:MA、MB、MC

  3. Product Specification 規格:可依照客戶需求客製化