設備製程區解決方案
Fan inlet+化學濾網
在半導體產業中,設備機台扮演著重要的角色,是最直接接觸到元件與產品的一部分,因此也與產品的良率息息相關。對半導體生產設備來說,除了使用的技術與設備本身的品質相當重要之外,設備內部的環境也是不可疏忽的環節。隨著製程線寬不斷的縮小,氣態分子污染物(AMC)的危害就日益增加,為了解決AMC控制問題,鈺祥設計了一系列的化學濾網,能夠適用在各式機台上,為AMC控制解決方案帶來最大的彈性。

鈺祥更與半導體設備製造商密切合作,搶先掌握設備過濾的關鍵技術,以在次世代的設備過濾技術中搶占先機,並滿足最先進製程的需求。若想了解更多關於鈺祥設備製程區解決方案的應用,歡迎隨時與我們聯絡。

 
照片
產品名稱
產品介紹
6V Single header
  1. Installation Location 安裝位置:MAU、RCU、Dry coil
  2. Challenge Gases 可去除氣體:MA、MB、MC
  3. Product Specification 規格:可依照客戶需求客製化
4V Single header
  1. Installation Location 安裝位置:MAU、RCU、Dry coil
  2. Challenge Gases 可去除氣體:MA、MB、MC
  3. Product Specification 規格:可依照客戶需求客製化
平板型
Panel
  1. Installation Location 安裝位置:FFU
  2. Challenge Gases 可去除氣體:MA、MB、MC
  3. Product Specification 規格:可依照客戶需求客製化
3 in 1
氣密式堆疊
  1. Installation Location 安裝位置:FFU
  2. Challenge Gases 可去除氣體:MA、MB、MC
  3. Product Specification 規格:可依照客戶需求客製化