外氣空調箱(Make-up Air Unit, MAU)是無塵室(Clean Room)循環系統中負責外氣(Outdoor Air, OA)初步處理的核心設備。MAU直接決定室內空氣品質,對廠房環境條件、生產效率及產品品質具有關鍵影響力,因此被視為保障無塵室運作穩定性的第一道防線。

MAU主要功能包括:

  • 懸浮微粒(PM)過濾
  • 氣態分子污染物(AMC)過濾
  • 維持室內正壓力差
  • 控制溫度與相對濕度

其運作原理為:當外氣絕對濕度高於無塵室目標濕度時,系統會先利用預冷盤管(Pre-cooling Coil)降低外氣露點,隨後透過預熱盤管(Pre-heating Coil)將氣流加熱至適宜溫度,確保送入無塵室的空氣能在與設備顯熱氣流混合後,穩定維持無塵室對溫濕度的嚴格要求。最後,經過出口端配置的高效率濾網,實現99.7%以上的粒子過濾效率,並有效去除各類AMC,達到無塵室超高潔淨度標準。

由於MAU處理大量外氣,其系統能耗在整個無塵室循環中占比最大,因此提升其能源效率至關重要。

 

鈺祥企業MAU專業解決方案

鈺祥企業針對MAU運作特性,提供兼顧高效過濾與節能減碳的專業解決方案,主要特色包括:

  • 多樣化濾網選擇
    提供傳統V型單凸式與箱型化學濾網選項,靈活適配各式MAU設計規格。
  • 專利筒式過濾系統
    鈺祥自主開發的筒式過濾系統,具備更高的過濾效率與更低的壓損表現,有效降低運行能耗,同時強化污染物去除能力。
  • 國際認證節能濾材
    鈺祥化學濾筒通過ISO 14067:2018碳足跡認證及BS 8001:2017循環經濟標準認證,與一次性濾材相比,可有效減少約25%的碳排放量,幫助客戶實現節能減碳目標。

透過鈺祥企業的MAU解決方案,客戶可同時達成最佳AMC微污染控制、無塵室運作穩定性提升及可持續發展目標(ESG),在競爭激烈的半導體與高科技產業中,取得更堅實的營運優勢。

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照片 產品名稱 產品介紹
4V/6V單凸化學濾網 V-Type Filter(Single Header) • 適用於高風量作業環境,確保空氣循環效能最佳化
• 濾網面積加大設計,兼顧高過濾效率與能源使用效益
• 支援與現場既有框架快速固定安裝,提升施工便利性
• 完美相容於多種既有系統,並提供彈性擴充與應用整合可能性
6V箱式化學濾網6V-Type Filter(Box) • 適用於高風量作業環境,確保空氣循環效能最佳化
• 濾網面積加大設計,兼顧高過濾效率與能源使用效益
• 支援與現場既有框架快速固定安裝,提升施工便利性
• 完美相容於多種既有系統,並提供彈性擴充與應用整合可能性
 
濾筒
Cylinder
• 大風量進氣條件專用,高效率低壓損及使用壽命長
• 符合循環經濟, 99%可重複利用高再生能力
• 快速拆裝設計,提升維護便利性
• 取得ISO 14067認證,相較一次性產品可減少>36%碳排放量
平板化學濾網 Panel Type Filter • 尺寸設計彈性高,靈活應用各類場域
• 提供多種規格尺寸,可即時供應生產需求
• 高效過濾與使用壽命長
• 廣泛應用於FFU及各類機台設備領域